Завантаження
Нелінійна оптика - лекція 7-1
Стронський А.В. Курс лекцій з нелінійної оптики. Лекція 7-1: Технологія виготовлення ІО- хвилеводів
Повний опис
Стронський Олексанр Володимирович. Курс лекцій з дисципліни "Нелінійна оптика".
Розділ 7 Лекція 1: [b]Технологія виготовлення ІО- хвилеводів[/b].
Тема: Базові технології виготовлення ІО- хвилеводів в склі та ніобаті літію. Метод епітаксіального
вирощування напівпровідникових активних матеріалів. Виготовлення інтегрально-оптичних хвилеводів. Осаджування тонких плівок, термічна дифузія, метод епітаксіального вирощування напівпровідникових активних матеріалів. Виготовлення хвилеводів методом окислення кремнію. Технологічні прийоми створення пристроїв на основі інтегрально-оптичних (ІО) структур.
Для студентів спеціальності 105 Прикладна фізика та наноматеріали
ФТІ НТУУ "КПІ" 2008
Розділ 7 Лекція 1: [b]Технологія виготовлення ІО- хвилеводів[/b].
Тема: Базові технології виготовлення ІО- хвилеводів в склі та ніобаті літію. Метод епітаксіального
вирощування напівпровідникових активних матеріалів. Виготовлення інтегрально-оптичних хвилеводів. Осаджування тонких плівок, термічна дифузія, метод епітаксіального вирощування напівпровідникових активних матеріалів. Виготовлення хвилеводів методом окислення кремнію. Технологічні прийоми створення пристроїв на основі інтегрально-оптичних (ІО) структур.
Для студентів спеціальності 105 Прикладна фізика та наноматеріали
ФТІ НТУУ "КПІ" 2008